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带您全面认识关于不同类型压力表的工作理念

作者:发表时间:2019-04-30


      压力读数与气体类型无关的压力表(机械压力表)下面皇冠6686手机登入带您全面认识关于不同类型压力表的工作理念.
1、波登压力表
      弯曲成圆弧的管的内部(所谓的波登管)连接到真空系统。由于外部大气压的影响,管的末端在抽空过程中或多或少地弯曲。这启动了指向该点的指针装置。可以以线性标度读取相应的压力。使用Bourdon压力表,可以粗略地确定10 mbar(7.5 Torr)和大气压之间的压力。
2、胶囊压力表
      该压力表包含一个密封的,抽空的薄壁隔膜舱,位于仪器内。随着真空压力降低,胶囊膨胀。该运动通过杠杆系统传递到指针,然后可以作为线性刻度上的压力读出。
3、隔膜压力表
      在能够进行绝对压力测量的隔膜压力表的情况下,密封和抽空的真空室通过隔膜与待测量的真空压力隔开。这用作参考数量。随着抽真空的增加,待测量的压力与参考室内的压力之间的差异变小,导致隔膜弯曲。该弯曲可以通过机械装置(例如杠杆)传递到指针和刻度,或者通过应变仪或弯曲杆电转换成电测量信号。这种隔膜压力表的测量范围从1毫巴(0.75托)到超过2000毫巴(1500托)。
4、电容压力表
      这些电容式绝对压力传感器的压敏膜片由Al2O3陶瓷制成。术语“电容测量”意味着由隔膜产生平板电容器,隔膜后面具有固定电极。当该电容器的两个极板之间的距离改变时,将导致电容的变化。然后将与压力成比例的这种变化转换成相应的电测量信号。在这里,抽空的参考室也可作为压力测量的参考。使用电容计,可以精确地测量10-5毫巴/托至远高于大气压的压力,从而必须使用具有不同厚度(因此灵敏度)的隔膜的不同电容计。
5、热导率计(皮拉尼)
      该测量原理利用气体的热导率来进行压力测量,范围为10-4毫巴/托至大气压。测头中的灯丝形成惠斯通电桥的一个臂。以这样的方式控制施加到电桥的加热电压,使得灯丝电阻以及因此灯丝的温度保持恒定,而不管灯丝发出的热量是多少。由于从灯丝到气体的热传递随着压力的增加而增加,因此桥上的电压是压力的量度。关于温度补偿的改进在面对大的温度变化时也导致稳定的压力读数,特别是在测量低压时。
6、冷阴极电离压力表(Penning)
      在此,通过测量头内的气体排出来测量压力,由此通过施加高张力来点燃气体排出物。产生的离子电流作为与主要压力成比例的信号输出。借助于磁铁也可以在低压下维持气体排放。设计这种传感器的新概念允许这些所谓的Penning传感器在10-2至1×10-9 mbar / Torr的压力范围内安全可靠地运行。
7、热阴极电离压力表
      这些传感器通常使用三个电极。热阴极发射撞击阳极的电子。因此,要测量其压力的气体被电离。通过第三电极 - 所谓的离子检测器 - 检测所产生的正离子电流,并且该电流用作与压力成比例的信号。目前主要使用的热阴极传感器基于Bayard-Alpert原理。利用这种电极布置,可以在10-10至10-2毫巴/托的压力范围内进行测量。其他电极布置允许进入从10-1毫巴/托至10-10毫巴/托的更高范围的压力。
      对于低于10-10毫巴/托的压力的测量,使用红头后的所谓的提取器电离传感器。在提取器电离计中,产生的离子聚焦在非常薄且短的离子检测器上。由于该系统的几何布置,几乎可以完全消除诸如X射线效应和离子解吸的干扰影响。提取器电离计允许压力测量范围为10-4至10-12 mbar / Torr。

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